沈阳芯源微电子设备有限公司(以下简称“芯源公司”)成立于2002年，占地2万平方米，注册资本5800万元.公司从业总人数210人，其中技术人员占70%，培养了集成电路单片处理设备的设计制造、工艺制程、软件开发与应用等多种学科人才。截止2016年11月，企业产值1.39亿元，收入1.22亿元，缴纳税费543.69万元，研发投入1,775.88万元。

　　芯源公司致力于研发制造世界一流半导体生产设备并提供相关服务，为客户提供专业、精良的设备和创新性的工艺解决方案。芯源公司拥有自主知识产权，已取得270余项核心技术专利。其自主开发的单片匀胶机，显影机，喷胶机，去胶机，湿法刻蚀机，清洗机等设备，广泛应用于半导体、先进封装、MEMS、LED等领域。

　　芯源公司在与国外产品竞争中赢得了市场，打破了国外设备垄断，研制的12英寸TRACK系统整机，已经在中芯国际、长电科技、苏州晶方、台湾等12寸主流生产线应用，拥有近百家业内客户。高端封装领域用喷涂胶显影设备已在台湾市场实现批量销售，在LED匀胶显影设备领域占领国内市场份额超过60%。

　　芯源公司是国家高新技术企业，拥有省级企业技术中心，拥有270余项技术专利，并主持制定1项行业标准。公司已通过质量、环境、职业健康安全管理体系认证，产品通过半导体行业SEMI-S2认证，为半导体专用设备生产提供了保障。工艺实验室配备了近20套试验检测设备，总价值近2000万元，满足了半导体工艺设备开发的试验与检测要求，奠定了公司发展的基础。目前公司已承担完成多项国家和地方科技项目，获多项国家及省市创新成果奖、科技进步奖、发明奖和半导体行业奖。连续承担国家科技重大专项，项目总投合计3.14亿，获国拨经费1.25亿。