沈阳富创精密设备有限公司成立于2008年6月,注册资本9416.03万元。公司专业从事IC装备关键零组件的研发与制造,是国内唯一集成电路(简称IC)装备精密零组件全制程工艺解决方案提供商。目前企业总员工299人,其中科技人员50人,占总人数的17%。2016年预计实现产值1.3亿元,收入1.2亿元,税收1000万元,研发投入660万元。
沈阳富创精密设备有限公司现拥有现代化恒温研发楼6000平方米,现代化恒温生产厂房6500平方米,净化车间500平方米, 300万级净化间(局部千级)。拥有高精度五坐标加工中心(DMU340P),卧式镗铣加工中心、四轴、三轴立式加工中心等73余台套高精度数控加工与配套设备,拥有国际先进的表面处理与清洗实验线。
工程技术研究中心自成立以来,积极加强技术创新与产品研发,共组织开展研发项目22项,研发成功1200多个零部件首件,一批产品完成验证,一批产品已投入实用,部分产品已打入国际市场。2016年共申请专利15项,其中发明专利11项,实用新型专利4项,获授权专利6项,其中发明专利3项,实用新型专利3项。同时,转化知识产权共22项。
公司于2011年、2014年分别承担国家科技重大专项02专项“IC装备零部件集成制造公共平台”和“基于焊接和表面涂覆技术的大型铝件制造技术开发”项目,对IC装备精密零部件集成制造、超大铝合金零部件超低污染及抗强腐蚀的表面涂覆技术,进行技术研发与产业化应用,目前已有专利21项,其中发明专利10项。产品已经销售到美国应材、日本东京电子、JCM等,国内以北方微电子研究所、上海微电子研究所为代表的130余家IC装备制造企业。2016年沈阳富创“半导体装备腔室类部件制造工艺”获沈阳市科技进步二等奖。
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